三次元測量儀采用先進的全鋁技術。橫梁和Z軸由硬質陽極化航空鋁合金制成,具有更好的溫度一致性。運動部件的重量和高速運行時測量機的慣性減小,以確保高速和高精度。三次元測量儀的三軸導軌均采用高精度自清潔空氣軸承,運動更加穩定,導軌不易磨損。三軸均采用高精度歐洲進口光柵尺,系統分辨率可達0.078um,同時一端固定,另一端自由伸縮,減少光柵尺的變形,保證溫度變化時的線性膨脹。
三次元測量儀采用先進的全鋁技術。橫梁和Z軸由硬質陽極化航空鋁合金制成,具有更好的溫度一致性。運動部件的重量和高速運行時測量機的慣性減小,以確保高速和高精度。三次元測量儀的三軸導軌均采用高精度自清潔空氣軸承,運動更加穩定,導軌不易磨損。三軸均采用高精度歐洲進口光柵尺,系統分辨率可達0.078um,同時一端固定,另一端自由伸縮,減少光柵尺的變形,保證溫度變化時的線性膨脹。
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